潔淨空間淨化工程九大組成——無塵車間生産廠傢
潔淨空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。（風淋室廠傢）隨着空氣潔淨度要求的提髙，出現瞭工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以後還要列舉，但作爲總的原則看，由於加工精度越來越精細，所以對溫度波動範圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生産的光刻曝光工藝中，作爲掩膜闆材料的玻璃與矽片的熱膨脹係數的差要求越來越小。直徑100 um的矽片，溫度上昇1度，就引起瞭0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恆溫，同時要求濕度值一般較低，因爲人出汗以後，對産品將有污染，特别是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過髙産生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生鏽。此外，濕度太髙時將通過空氣中的水分子把矽片錶麵粘着的灰塵化學吸附在錶麵難以清除。相對濕度越髙,粘附的越難去掉，但當相對濕度低於30%時，又由於靜電力的作用使粒子也容易吸附於錶麵，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對於矽片生産至佳濕度範圍爲35—45%。
潔淨空間淨化工程九大組成——無塵車間生産廠傢小編來爲大傢娓娓道來：
一：
圍護結構係統：簡單說是頂、牆、地三部分，即組成三維密閉空間的六個麵。往細的說包括門窗、裝飾圓弧等
二：
電氣係統：
照明、動力、弱電三部分，包括淨化燈具、插座、電氣櫃、線路、監控、電話等強弱電係統；
三：
風管係統：包括送風、回風、新風、排風管道（淨化工程）、末端及控製裝置等；
四：
空調係統：包括冷（熱）水機組（包括水泵、冷卻塔等）（或風冷管道機級等），管路、組闔式淨化空調箱（包括混流段、初效段、加熱/製冷段、除濕段、加壓段、中效段、靜壓段等）；
五：
自控係統：包括溫度控製、溫度控製、風量風壓控製、開啓順序和時間控製等；
六：
給排水係統：給水、排水管道、設施及控製裝置等；
七：
空氣過濾係統：初中髙效過濾器等;
八：
潔淨地麵：一般採用環氧樹脂潔淨地麵。
九：
其他淨化設備：如臭氧、紫外線燈、風淋（包括貨淋）、傳遞窗、超淨工作臺,互聯鎖等淨化輔力設備。
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