複闔式無塵室概述—蘇州風淋室廠傢

影響超淨間的氣流因素很多，如製程設備、人員、超淨間組裝材、照明器具等，同時對於生産設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。

一般操作臺或生産設備等錶麵的氣流分流點，（蘇州不鏽鋼風淋室）應設於超淨間空間與隔牆闆間距2/3之處，如此可使作業人員工作時，氣流可從製程區内部流向作業區，而將微塵帶走；若分流點配置在製程區前方，將成爲不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至製程區之後，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備後麵，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。

超淨間内的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相對地在其附近之潔淨度將會較差，在工作桌麵鑽上回風孔，將使渦流現象減少至低；組裝材料之選擇是否恰當、設備佈局是否完善，亦爲氣流是否成爲渦流現象之重要因素。

複闔式無塵室概述——蘇州風淋室廠傢來爲大傢娓娓道來：

複闔式爲將亂流式及層流式予以複闔或並用，可提供局部超潔淨之空氣。

一潔淨隧道：

以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%複蓋使潔淨度等級提髙至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與産品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響瞭工作及品質，ULSI製程大都採用此種型式。

潔淨隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。

二：潔淨管道：

將産品流程經過的自動生産線包圍並淨化處理，將潔淨度等級提至100級以上。因産品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔淨度，可節省能源，不需人工的自動化生産線爲至適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用（蘇州潔淨工作臺）。

三：並裝局部潔淨室：

將潔淨室等級10,000~100,000之亂流潔淨室内之産品製程區的潔淨度等級提髙爲10~1000級以上，以爲生産之用；潔淨工作臺、潔淨工作棚、潔淨風櫃即屬此類。

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