[產品庫]主題: 無塵車間溫濕度對産品的影響—淨化 ... 發佈者: 淨化公司
07/17/2017
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無塵車間溫濕度對産品的影響—淨化公司
無塵車間是指將一定空間範圍内之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,並將室内之溫度、潔淨度、室内壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍内,而所給予特别設計之房間。無塵車間也叫潔淨廠房、潔淨室(Clean Room)、無塵室。其室内均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。淨化車間根據區域環境、淨化程度等因素,爲若幹等級。
無塵車間溫濕度對産品的影響——淨化公司來爲廣大用戶娓娓道來:
1、細菌生長;
細菌和其他生物污染(黴菌,病毒,真菌,螨蟲)在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處於40%至60%的範圍之間時,可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至至低。
2、工作人員感到室溫舒適的範圍;相對濕度在40%至60%的範圍同樣也是人類感覺舒適的適度範圍。濕度過髙會使人覺得氣悶,而濕度低於30%則會讓人感覺幹燥,皮膚破裂,呼吸道不適以及情感上的不快。
3、出現靜電荷;
髙濕度實際上減小瞭無塵車間、潔淨室(潔淨車間)錶麵的靜電荷積累──這是大傢希望的結果。較低的濕度比較適闔電荷的積累並成爲潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時,靜電荷開始迅速消散,但是當相對濕度小於30%時,它們可以在絕緣體或者未接地的錶麵上持續存在很長一段時間。相對濕度在35%到40%之間可以作爲一個令人滿意的折中,半導體無塵車間、潔淨室一般都使用額外的控製裝置以限製靜電荷的積累。
4、金屬腐蝕;
很多化學反應的速度,包括腐蝕過程,將隨着相對濕度的增髙而加快。所有暴露在無塵車間、潔淨室週圍空氣中的錶麵都很快地被複蓋上至少一層單分子層的水。當這些錶麵是由可以與水反應的薄金屬塗層組成時,髙濕度可以使反應變化。幸運的是,一些金屬,例如鋁,可以與水形成一層保護型的氧化物,並阻止進一步的氧化反應;但另一種情況是,例如氧化銅,是不具有保護能力的,因此,在髙濕度的環境中,銅製錶麵更容易受到腐蝕。
5、水汽冷凝;
在相對濕度較髙的環境中,濃縮水形的毛細管力在顆粒和錶麵之間形成瞭連接鍵,可以增加顆粒與矽質錶麵的黏附力。這種效應——凱爾文濃縮——當相對濕度小於50%時並不重要,但當相對濕度在70%左右時,就成爲顆粒之間黏附的主要力量。
6、光刻的褪化:
到目前爲止,在半導體無塵車間、潔淨室中至迫切需要適當控製的是光刻膠的敏感性。由於光刻膠對相對濕度極爲敏感的特性,它對相對濕度的控製範圍的要求是至嚴格的水準。
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最後更新: 2017-07-17 16:50:04