[產品庫]主題: 淨化公司淺談潔淨室噪音控製 ... 發佈者: 淨化公司
08/22/2017
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淨化公司淺談潔淨室噪音控製
《現代潔淨室概唸》一文中強調“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲至低的風機,還應該採用彈性減振基礎”。關於消聲器的使用,文中說:“管道消聲器在髙頻和中頻範圍内降低噪聲是有效的,當風管敷設長度在15m 内時,就應考慮採用消聲器”。淨化公司指出,關於風管的連接,文中說:“通風機和送風管道與回風管道之間,應採用柔性連接管隔開”。還要求“將通風機外殼、靜壓箱和管道加上襯裏”。 對風道係統採取消聲和防止管道固體傳聲等措施,潔淨室噪聲可以大幅度地降低。
排風係統噪聲對潔淨室影響極大。以集成電路生産爲例,在生産過程中,外延、擴散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設排風係統。近年來,對於潔淨廠房排風係統噪聲治理日益受到重視,註意選用低噪聲風機等。
潔淨室的密封性能比較好,噪聲不易衰減,由於潔淨室(無菌車間)内的工作環境要求比較安靜,按規定減少風管風速,既減少瞭淨化空調係統的阻力,降低瞭風機壓頭和轉速,減弱瞭風機噪聲,又防止瞭風速過大而産生的附加噪聲。
潔淨室在使用期間,除瞭要對妳潔淨度、溫濕度做測試和控製之外,對噪音標準也需要控製。人和淨化解析潔淨室噪音標準和潔淨室噪音控製方法。 潔淨室噪聲標準的製訂主要考慮噪聲的煩惱效應、語言通訊幹擾和對工作效率的影響。國内對於噪音對於健康影響的研究錶明,低於80dB(A)的一般工業噪聲對健康的影響不太大。
國外潔淨室噪聲標準的研究工作開始於20世紀60年代。1966年製定的美國聯邦標準209a 和1974修訂的209b 規定:“潔淨室的噪聲控製在可能進行必要的通話,滿足操作或産品的要求,並使人員保持在舒適和安全的範圍内”。在ISO/DIS14644-4標準(草案) 中規定:“應根據潔淨室内人的舒適和安全要求及環境(如其它設備) 的背壓級來選擇適宜的聲壓級。潔淨室的聲壓級範圍爲40-65dB(A)”。
從搜集的國内外潔淨室的噪音標準來看,有以下幾個特點:潔淨室的噪音標準一般均嚴於保護健康的標準。在潔淨室的環境下,噪聲條件主要在於保障正常操作運行,滿足必要的談話聯係,提供舒適的工作環境。絕大多數標準給出的允許值在65-70dB(A)範圍,醫療行業更低。現行的大多數標準均以A 聲級作爲評價指標,也有少數標準對於各頻帶聲壓級提出限製。少數標準按不同的空氣潔淨度等級分别給出噪聲容許值,而大多數標準對不同的空氣潔淨度等級潔淨室提出一個統一的容許值。
對國内幾個行業不同氣流流型潔淨室(淨化車間)的靜態和動態噪聲所進行的分析錶明,不同氣流流型的靜態噪音有較大的差異。非單向流潔淨室的靜態噪聲實測值在41-64 dB(A),平均爲54 dB(A);單向流、混闔流潔淨室的靜態噪聲實測值在51-75 dB(A),平均爲65 dB(A)。非單向流潔淨室較之單向流潔淨室的靜態噪聲平均值約低11 dB(A)。非單向流潔淨室和單向流、混闔流潔淨室靜態噪聲的差異與其送風量(或換氣次數) 和淨化空調係統的特徵有關。 控製設備噪聲首先應從聲源上着手,設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下,由於技術或經濟的原 因而難於做到時,則應從噪聲傳播途徑上來採取降噪措施。例如,把髙噪聲工藝設備遷出潔淨室或隔離佈置於隔聲間内。必須置於潔淨室内的髙噪聲設備,亦可採用隔聲罩隔絕噪聲。國内有些潔淨室將機械泵一類髙噪聲設備置於潔淨室外套間,或技術夾道或服務區内,潔淨室噪聲有明顯的降低。
潔淨室的靜態噪聲主要來源於淨化空調係統和局部淨化設備運行噪聲,靜態噪聲的大小與潔淨室氣流流型、換氣次數等因素有關。但關鍵在於淨化空調(潔淨車間)係統的闔理佈置及闔理的降噪措施。
關於降低潔淨室淨化空調係統噪聲的措施,國内外有關資料提出一些有效措施:
《現代潔淨室概唸》一文中強調“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲至低的風機,還應該採用彈性減振基礎”。關於消聲器的使用,文中說:“管道消聲器在髙頻和中頻範圍内降低噪聲是有效的,當風管敷設長度在15m 内時,就應考慮採用消聲器”。關於風管的連接,文中說:“通風機和送風管道與回風管道之間,應採用柔性連接管隔開”。還要求“將通風機外殼、靜壓箱和管道加上襯裏”。對風道係統採取消聲和防止管道固體傳聲等措施,潔淨室噪聲可以大幅度地降低。
排風係統噪聲對潔淨室影響極大。以集成電路生産爲例,在生産過程中,外延、擴散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設排風係統。近年來,對於潔淨廠房排風係統噪聲治理日益受到重視,註意選用低噪聲風機等。
潔淨室的密封性能比較好,噪聲不易衰減,由於潔淨室内的工作環境要求比較安靜,按規定減少風管風速,既減少瞭淨化空調係統的阻力,降低瞭風機壓頭和轉速,減弱瞭風機噪聲,又防止瞭風速過大而産生的附加噪聲。
對國内幾個行業不同氣流流型潔淨室的靜態和動態噪聲所進行的分析錶明,不同氣流流型的靜態噪聲有較大的差異。非單向流潔淨室的靜態噪聲實測值在41-64 dB(A ),平均爲54 dB(A );單向流、混闔流潔淨室的靜態噪聲實測值在51-75 dB(A ),平均爲65 dB(A )。非單向流潔淨室較之單向流潔淨室的靜態噪聲平均值約低11 dB(A )。非單向流潔淨室和單向流、混闔流潔淨室靜態噪聲的差異與其送風量(或換氣次數)和淨化空調係統的特徵有關。 控製設備噪聲首先應從聲源上着手,設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下,由於技術或經濟的原因而難於做到時,則應從噪聲傳播途徑上來採取降噪措施。例如,把髙噪聲工藝設備遷出潔淨室或隔離佈置於隔聲間内。必須置於潔淨室内的髙噪聲設備,亦可採用隔聲罩隔絕噪聲。國内有些潔淨室將機械泵一類髙噪聲設備置於潔淨室外套間,或技術夾道或服務區内,潔淨室噪聲有明顯的降低。
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最後更新: 2017-08-22 11:19:34