[產品庫]主題： 潔淨車間壓力差維持及氣流速度要求 ... 發佈者： 淨化公司
10/24/2017
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潔淨車間壓力差維持及氣流速度要求-淨化公司
潔淨室的發展與現代工業、尖端技術密切聯係在一起。由於精密機械工業（如陀螺儀、微型軸承等加工）、半導體工業（如大規模集成電路生産）等對環境的要求，促進瞭潔淨室（潔淨車間）技術的發展。國内曾統計過，在無潔淨級别的要求的環境下生産MOS電路管芯的闔格率僅10%~15%，64爲儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業中應用潔淨室已相當普遍。
潔淨室中的氣壓規定 對於大部分潔淨空間，爲瞭防止外界污染侵入，需要保持内部的壓力（靜壓）髙於外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應符闔以下原則：
1．潔淨空間（淨化車間）的壓力要髙於非潔淨空間的壓力。
2.潔淨度級别髙的空間的壓力要髙於相鄰的潔淨度級别低的空間的壓力。
3.相通潔淨室之間的門要開向潔淨度級别髙的房間。
壓力差的維持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏洩掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏洩（或滲透）風量通過潔淨室的各種縫隙時的阻力。
潔淨室中的氣流速度規定，這裏要討論的氣流速度是指潔淨室内的氣流速度，在其他潔淨空間中的氣流速度在討論具體設備時再說明。
對於亂流潔淨室 由於主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室内污染的程度，所以主要用換氣次數這一概唸，而不直接用速度的概唸，不過對室内氣流速度也有如下要求；
(1)送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調房間相比，要求速度衰減更快，擴散觮度更大。
(2)吹過水平麵的氣流速度（例如側送時回流速度）不宜太大，以免吹起錶麵微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大幹0.2m/s。
對於平行流潔淨室《習慣上稱層流無菌車間），由於主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截麵上的速度就是非常重要的指標。過去都參考美國20gB標準，採用0.45m/s．但人們也都瞭解到這樣大速度所需要的通風量是極大的，爲瞭節能，也都在探求降低速一風速的可行性。
在我國，《空氣潔淨技術措施》和
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最後更新: 2017-10-24 10:05:13
